序号

采购项目名称

采购需求概况

采购预算（万元）

预计采购时间

1

超高真空团簇束流减速与单晶、粉末沉积系统

1、单/双阴极团簇气相冷凝系统可切换:团簇尺寸范围从单原子到直径10 nm；
2、 Nozzle出口偏压调节功能：0~50 V，额定电流500 mA；
3、超高真空环境运行保障: 所有部件符合超高真空标准，单晶沉积腔配备离子泵及超高真空插板阀，单晶沉积腔背景极限真空度≤5×10-10 mbar，配备烘烤系统；
4、正/负电荷团簇均可制备: 配备极性可在正负之间快速切换的双模式离子光学高压电源（±3000 V）与质量选择高频高压脉冲电源（±1000 V）。实现能够对带正电荷以及负电荷的团簇离子进行高效聚焦、稳定传输与质量选择；
5、质量选择脉冲电源：最小原子质量选择10 a.m.u.；输出电压0~±1000 V，可调步长1 V；频率1~500kHz，步长1 kHz；脉宽500 ns~DC，步长10 ns；上升沿＜25 ns；相位0~180/360度可调。
6、配备粉末样品（大流量非质选）沉积系统、单晶样品沉积系统、石英晶振微天平QCM系统，粉末样品(质选)预载腔温控具备加热功能

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2026年9月